集成电路一般洁净度在100级到1000级，温湿度控制严格，需要很高的洁净工艺； 由于集成电路工艺生产技术的特殊性，它对生产环境，如洁净度、温度、湿度都有严格的要求，这直接关系到晶圆产品的质量和寿命，必须严格控制在要求范围之内。